3D NAND 与现代闪存技术

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#储存器
日期:2026-11-09

一、 2D NAND 的缩放瓶颈

平面微缩的物理极限

2D NAND 通过缩小 Cell 特征尺寸(Feature Size)提升密度——从 2000 年代的 90 nm 逐步缩小到 2010 年代初的约 15–19 nm。但继续缩小面临不可逾越的物理障碍:

图 1:2D NAND 平面微缩的三大瓶颈

三大瓶颈

瓶颈机制后果
Cell 间干扰(Cell-to-Cell Interference)Cell 间距缩小,Program/Erase 时相邻 Cell 的Vt被影响读写错误率上升,需更强 ECC
P/E 寿命下降浮栅更薄,每次 Erase 对浮栅损伤更大P/E 次数从 SLC 100K 降至 TLC 3K
数据保持力(Retention)恶化浮栅面积减小,电荷泄漏更快断电后数据保存时间缩短
光刻成本激增低于 20 nm 需 EUV/E-Beam 等昂贵工艺$/GB 下降速度放缓

 

2D NAND 密度演进停滞

年代工艺节点每 Die 容量代表产品
200590 nm约 1 Gb—
200834 nm约 32 Gb—
201120 nm约 64 Gb最后一代 2D MLC
201319 nm约 128 Gb最后一代 2D TLC
2015+—停止微缩转向 3D

 

2013 年后,所有主流 NAND 厂商停止 2D 微缩,全面转向 3D 堆叠——这不是选择,而是物理定律的必然结果。

为何必须转向 3D

2D 微缩的路是「把 Cell 做小」;3D 的路是「把 Cell 堆高」——在垂直方向堆叠更多层,而不是在平面方向继续缩小 Cell 尺寸。这绕开了 Cell 间干扰和光刻极限,以成熟的 40–50 nm 工艺节点实现更高密度。

 

二、 3D NAND 堆叠原理(WL / BL / String Stack)

基本结构

3D NAND 将 Cell 沿垂直方向堆叠,形成NAND String(串):

图 2:3D NAND 的 String Stack、Word Line 与 Bit Line 结构

结构元素方向作用
Word Line(WL,字线)水平(横跨 String)选择同一层所有 Cell,施加读写电压
Bit Line(BL,位线)垂直(连接 String 顶部)读取 Cell 电流
Select Gate(SGD/SGS)String 顶部/底部选择哪些 String 参与操作
Channel(沟道)垂直 U 形电子传输通道
Control Gate(CG)环绕 Cell施加控制电压

 

U 形 Channel 结构

3D NAND 的 Channel 不是直线,而是U 形(或环形):

Bit Line (BL)

    |

  [SGD]  ← Select Gate Drain

    |

  [Cell N]   ← 第 N 层(最高层)

  [Cell N-1]

  [Cell ...]

  [Cell 1]   ← 第 1 层

    |

  [SGS]  ← Select Gate Source

    |

  公共源极(Common Source Line)

 

Program/Erase 时,高电压施加在 WL 上,通过 U 形 Channel 中的电子隧穿改变 Charge Trap 层的电荷状态。

层数演进

时间代表层数每 Die 容量(TLC,约)里程碑
201324 层约 64 Gb首款商用 3D NAND
201532 层约 128 Gb规模量产
201764 层约 256 Gb消费级 SSD 普及
201996 层约 512 Gb—
2020128 层约 512 Gb–1 Tb主流
2022176 层约 1 Tb—
2024232–236 层约 1 Tb+最新量产

 

层数增加并非线性提升容量——每增加一层,工艺复杂度、良率和成本也显著上升。

CMOS Under Array(CUA)与 4 Plane

CUA(CMOS Under Array):将 NAND 外围电路(Row Decoder 等)移到 Cell 阵列下方,节省面积,允许更大阵列或更多 Plane。

4 Plane 架构:一个 Die 内有 4 个独立 Plane,可并行执行 Read/Program/Erase,吞吐量是 2 Plane 的约 2 倍。

架构Plane 数并行度典型应用
早期 3D NAND2 Plane中2015–2018 年产品
现代 3D NAND4 Plane高2020 年代主流
企业级4 Plane + 多 Die最高高 IOPS 场景

 

3、 Charge Trap vs Floating Gate 结构

两种 Cell 结构

2D NAND 时代主流是Floating Gate(浮栅)结构;3D NAND 时代主流转向Charge Trap(电荷陷阱,CT)结构:

图 3:Floating Gate 与 Charge Trap 结构剖面对比

结构对比

对比项Floating Gate(FG)Charge Trap(CT)
电荷存储位置多晶硅浮栅(完全隔离)氮化硅(SiN)层(电荷陷阱)
3D 集成难度高(U 形 Channel 中难以集成)低(天然适合 3D 堆叠)
Cell 间干扰较大较小
P/E 寿命较长(SLC 100K)略短,但 3D 工艺可优化
主要厂商早期 2D NANDSamsung、Kioxia、Micron、YMTC
3D 适用性不适合3D NAND 标配

 

为何 3D 时代选择 Charge Trap

1. 3D 兼容性:CT 层可以均匀沉积在 U 形 Channel 壁上,FG 的多晶硅浮栅在 3D 结构中难以制造

2. 干扰更小:CT 的电荷被限制在 SiN 层内,不会像 FG 那样通过浮栅耦合干扰相邻 Cell

3. 更薄 Cell:CT Cell 高度更小,同样高度可堆叠更多层

对 SSD 的影响

影响维度说明
RetentionCT 的 Retention 略低于 FG,需更积极的 Read Refresh
P/E 寿命早期 CT 略低,现代 3D CT 已通过工艺优化接近 FG 水平
Read RetryCT 的Vt分布更宽,TLC/QLC 需要更复杂的 Read Retry 表
固件复杂度需针对不同 WL 位置(顶部/中部/底部 Cell)使用不同 Read 电压

 

4、 主流厂商技术路线概览

以下内容为技术参考,不构成产品推荐。各厂商命名和参数随代际快速更新,以官方发布为准。

图 4:3D NAND 堆叠层数演进(行业参考,非特定厂商)

各厂商技术概览

厂商技术名称结构特点最新量产层数(约,2024)
SamsungV-NANDCT,U 形 Channel,CUA236 层(V9)
Kioxia / WDBiCS FLASHCT,圆形 Channel,CUA218 层(BiCS8)
MicronCuA(CMOS Under Array)CT,替换栅(Replacement Gate)232 层
SK hynix4D NANDCT,PUC(Peri Under Cell)238 层
YMTC(长江存储)XtackingCT,外围电路与阵列分两层键合232 层(X4)

 

技术路线差异

差异点说明对固件的影响
String 结构U 形 vs 圆形 ChannelRead Retry 表不同
Plane 数2 vs 4 Plane并行调度策略不同
Page 大小16 KB vs 32 KBFTL 映射粒度、OOB 布局不同
接口速率NV-DDR2 vs NV-DDR3时序参数表不同
特性寄存器厂商私有 Feature 地址Get/Set Feature 命令需适配

 

固件工程师的实际工作:每适配一款新 NAND 颗粒,需要获取厂商的NAND 数据手册(Datasheet)和应用笔记(Application Note),配置时序参数、ECC 强度、Read Retry 表和坏块管理策略。

 

5、 QLC / PLC 在 SSD 中的工程权衡

密度-寿命-性能三角

每增加 1 bit/Cell,密度提升约 33%,但 P/E 寿命和写入性能显著下降:

图 5:SLC / TLC / QLC / PLC 在密度、寿命、性能三角中的位置

各类型在 SSD 中的定位

类型密度P/E 寿命写入速度SSD 定位
SLC 模式1×约 50K–100K最快企业级缓存区、映射表存储
TLC3×约 1K–3K中(+ SLC Cache)消费级/企业级主流
QLC4×约 500–1K慢(Cache 外 ~100 MB/s)大容量消费级、只读为主场景
PLC5×约 300–500极慢研发/归档,尚未大规模 SSD 商用

 

SLC Cache 策略的工程实现

QLC/TLC SSD 通过SLC Cache掩盖写入性能差距:

阶段实际写入模式用户感知速度
Cache 区(SLC 模式)1 bit/Cell,高速标称 2000–7000 MB/s
Cache 耗尽(直写 QLC/TLC)全 bit 写入,低速约 100–500 MB/s
后台 GC将 Cache 区数据搬至 QLC/TLC 区可能影响读性能

 

DWPD 与 QLC:QLC 的 P/E 寿命低,DWPD 通常 ≤ 0.2(消费级),不适合写入密集型工作负载。

企业级 vs 消费级 QLC 策略

策略消费级 QLC SSD企业级 QLC SSD
SLC Cache 大小较大(几十 GB)较小或不用
OP 比例约 7%约 14–28%
DWPD约 0.1–0.2约 0.5–1
ECC 强度标准 LDPC更强 LDPC + 更多 Read Retry
目标场景轻办公、游戏存储读密集数据中心、CDN

PLC 的前景与限制

PLC(5 bit/Cell,32 种Vt状态)已在实验室和部分厂商样品中展示,但面临:

挑战说明
P/E 寿命约 300–500 次,远低于 QLC
ECC 需求需极强 LDPC,OOB 开销更大
Read Retry32 状态需多次电压步进,读取延迟增加
应用场景目前适合 WORM(一次写多次读)归档,非通用 SSD

 

主流 SSD 仍以 TLC 为主,QLC 在大容量消费级市场增长,PLC 尚未进入主流 SSD 产品。

小结

图 6:第 7 章知识要点总览

• 2D NAND在约 15 nm 节点触顶,Cell 干扰、P/E 下降、光刻成本是三大瓶颈

• 3D NAND通过垂直堆叠(32→236+ 层)继续提升密度,绕开平面微缩极限

• String Stack结构:WL 水平选择层,BL 垂直读取,U 形 Channel 传输电子

• Charge Trap取代 Floating Gate 成为 3D 主流,更适合 U 形 Channel,干扰更小

• 厂商路线:Samsung V-NAND、Kioxia BiCS、Micron CuA、YMTC Xtacking 等,固件需逐颗适配

• QLC/PLC:密度更高但寿命和性能更低,SLC Cache 是消费级 QLC 的关键工程手段

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